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技术课堂 | 电位滴定仪在湿电子化学品中的应用与解决方案湿电子化学品指为微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、互联等）制程中使用的各种电子化工材料。按用途可分为通用化学品（又称超净高纯试剂）和功能性化学品（以光刻胶配套试剂为代表）。 其中超净高纯试剂需求量占比达88%，占比的依次是，硫酸、双氧水、氨水、氢氟酸、异丙醇、硝酸以及磷酸；功能性化学品占比达12%，占比依次是，半导体用显影液、刻蚀液、面板用显影液、剥离液以及缓冲刻蚀液。
梅特勒托利多电位滴定仪在电子湿化学品中的应用非常广泛，以下精选部分典型应用：
梅特勒 电位滴定仪 01 通用湿电子化学品硫酸铈法测定双氧水含量 双氧水含量的滴定通常有高锰酸钾法和硫酸铈滴定法，由于硫酸铈作为滴定液非常稳定，可以直接配制而不用标定就可以等到标准溶液，使用非常方便。 取0.1~0.5g双氧水，加DI水至锥形瓶20mL刻度，加20mL 20%硫酸用0.1mol/L硫酸铈标液滴定,滴至终点。
采用高锰酸钾法测定双氧水含量，操作简单，检测快速（3-5min），测定结果准确，测定重复性相对标准偏差可控制在1%以内。 仪器配置：电位滴定仪，DMi140-SC氧化还原电极，DV1010滴定管
其他通用化学品解决方案 02 功能性湿电子化学品 显影液-四甲基氢氧化铵测定 梅特勒托利多电位滴定仪可有效控制四甲基氢氧化铵的含量，方法参照SJ/T11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定电位滴定法。 方法：精密称取适量样品（精确到0.0001g），置于滴定杯中，加入50mL去离子水，用0.1N盐酸滴定液进行滴定，以第一个等当点计算四甲基氢氧化铵含量。
采用两种方法对四甲基氢氧化铵的测定结果准确，重复性好，最大绝对误差均小于0.01%。 仪器配置：电位滴定仪，DGi111-SC/DGi115-SC酸碱滴定电极，DV1020滴定管。 缓冲刻蚀液-氟化铵和氢氟酸测定 缓冲刻蚀液主要用来刻蚀晶圆上深槽的SiO2氧化膜。氧化膜的腐蚀速度在温度一定时，主要取决于腐蚀液的配比和SiO2参杂情况。采用梅特勒托利多电位滴定仪测定腐蚀液的配比，测定结果准确，重复性良好。 精密称取适量样品，加入50ml水稀释，用0.1mol/L氢氧化钠进行滴定，滴定过程中有两个突跃，第一个突跃为HF的滴定终点，第二个突跃为氟化铵的滴定终点。
HF的pKa为3.45，NH4+的pKa为9.25，所以第一个突跃为HF的滴定终点，第二个突跃为NH4F的滴定终点。根据HF和NH4+解离平衡常数的区别，采用一步滴定即可测定HF和NH4F的浓度。 仪器配置：电位滴定仪，DGi111-SC/DGi115-SC酸碱滴定电极，DV1010滴定管 铝刻蚀液-硝酸、磷酸、醋酸三元混酸含量的滴定 方法一 ，主要应用是铝刻蚀液原料监控： 刻铝酸含量测定（4%HNO3、75%H3PO4、10%HAc） 滴定剂（0.2 M KOH-2-Isopronal） 溶剂：乙醇：丙二醇=1：1 仪器：电位滴定仪+DGi113-SC非水酸碱滴定电极
方法二 ，主要应用是铝刻蚀液生产槽监控——分步滴定，原因：样品在生产中带入了铝等其它离子会影响测定
其他功能性湿电子化学品测定解决方案 03 DispenSix全自动取样、在线滴定系统 在线分析系统所有化学分析部件均采用模块化设计，分析模块设计及材料选用完全耐腐的高性能材料如：玻璃, PTFE, PVDF 和 FEP。在实际运用中，用户可以根据检测指标进行配置，并根据工厂生产要求自行设定最适宜的分析周期。自动采集样品和分析测定，分析过程结束后，仪器自动用去离子水冲洗反应杯，将分析结果显示到仪器屏幕，并通过以太网将数据传输至中控室LabX软件工作站。同时labX工作站还可以实现与LIMS、ERP等系统的数据对接，真正实现24小时无人值守的监控。
全自动高精度取样单元Liquid Handler是一个有6个阀门的滴定管功能，可以精准吸液、溃液和准备，可在生产线上实时监控槽液酸、碱、铜离子等含量。下面是Liquidhandler分别在线测定六价铬的和在线测定铀含量的方案，可见梅特勒托利多在线滴定系统的多元化。
模块化的设计，任意零部件磨损或者老化可以进行更换和维修，维修方便简单，经过培训，客户可以自己进行更换和维修。 现今，中国已成为全球最大的半导体消费市场。物联网、5G通信、人工智能等下一轮终端需求，为中国大陆半导体产业发展创造了新的机遇。我们在电子湿化学品的应用方法和案例非常丰富，可以提供多种解决方案。
梅特勒自动电位滴定仪 Excellence T5 多功能滴定仪，适用于所有应用. T5 Excellence滴定仪为电位法滴定和卡尔费休应用提供了充分的灵活性。可在1到4支滴定管总数内进行扩展，从而满足高级需求。支持InMotion自动化，适用于大吞吐量测试。 One Click用户界面 借助直观的One Click触摸屏界面来定制主界面，以便轻松快速地运行工作流程——轻触屏幕即可。 十分灵活的自动化操作 兼容强大的InMotion自动化。样品更换、复杂滴定、清洁步骤等均可自动运行，从而节省操作员的时间。
梅特勒自动电位滴定仪 Excellence T7 多功能滴定仪，适用于所有应用. T7扩展了超越系列滴定仪的模块化功能，可在1到4支滴定管总数以及1个额外电极主板的范围内进行扩展，以便满足包括KF在内的高级需求。支持InMotion自动化 + 未来可升级至完整的T9功能。 扩展的模块化和可升级性 T7扩大了额外的滴定管和电极主板的选择范围。当未来需求不确定时，T7可以完全升级至T9滴定仪。 十分灵活的自动化操作 兼容强大的InMotion自动化。样品更换、复杂滴定、清洁步骤等均可自动运行，从而节省操作员的时间。
梅特勒自动电位滴定仪 Excellence T9 多功能滴定仪，适用于所有应用. T9具有出色系列内的优良模块化设计。可在1到8支滴定管总数以及2个额外电极主板的范围内进行扩展，以便满足包括卡尔费休在内的高级需求。支持InMotion自动化和2个同步滴定工作流程。 同时运行两种滴定 功能强大的T9可同时运行两种独立的和/或自动的滴定，从而将分析时间缩短多达50％。 “如果…… 那么”做出决策 “如果…… 那么”方法功能确保T9可以使用决策树运行复杂的工作流程，从而节省了需要人为决策的时间。
自动电位滴定仪 Compact G10S 坚固耐用的滴定仪，适用于一般应用. G10S引入了紧凑型滴定仪的耐用且简单的操作和节省空间的设计。多达5种分析方法，具有10种方法函数 + 每位用户4种快捷方式。是有多个操作员的专用QC应用的理想之选。 预定义的方法 包括20种适用于各种行业常见应用的优化方法。直接使用或轻松对它们进行编辑以满足您的需求。 One Click用户界面 借助直观的One Click触摸屏界面来定制主界面，以便轻松快速地运行工作流程——轻触屏幕即可。 即插即用配件 连接时自动识别传感器和滴定管。通过消除额外的数据输入步骤来避免错误，同时缩短仪器设置时间。
自动电位滴定仪 Compact G20S 坚固耐用的滴定仪，适用于一般应用. G20S采用与智能型滴定仪相同的节省空间设计，扩展了其可用性。借助12种方法功能 + 每位用户12种快捷方式以及LabX Express软件，可支持150种分析方法。适用于多种常规滴定和用户。 性能稳定 可靠的智能型滴定仪，日常的一般滴定分析可由多个操作员进行，省时省力，所需培训和维护更少。 扩展的分析选项 凭借扩展的分析方法、方法功能、快捷方式和软件选项，G20S可轻松管理多个应用。 One Click用户界面 借助直观的One Click触摸屏界面来定制主界面，以便轻松快速地运行工作流程——轻触屏幕即可。
更多产品技术问题，可联系白工：13924129282 |
